Rework bei CE-MAT

Immer steigende Herausforderungen der Halbleiterindustrie im Hinblick auf Prozessperformance der Bauteile in den Prozessanlagen stellen hohe Anforderungen an Materialien und Bauteilepräzision. Aggressive Prozessbedingungen führen zu Beinträchtigungen der Bauteileigenschaften durch Korrosion, oder die Bauteile werden durch mechanische Beschädigungen unbrauchbar.

CE-MAT bietet die mechanische und / oder chemische Reparatur von prozessbedingt beeinträchtigten Bauteilen an, welche die geforderten Parameter nicht mehr erfüllen. Durch den Wiederaufarbeitungsprozess bekommen die Bauteile wieder zu Neuteilen analoge Eigenschaften und haben wieder eine vergleichbare oder bessere Lebensdauer. Rework ist für die meisten Teile möglich!

Der Wiederaufarbeitungsprozess ( Reanodisierung gemäß MIL-A-8625 ) bei CE-MAT umfasst folgende Schritte:

  • Eingangskontrolle
  • Bauteilespezifische Vorbereitung zum Rework
  • Entschichtung
  • Mechanische Oberflächenbehandlung
  • Beschichtung nach individueller Beschichtungsanweisung
  • Nacharbeit
  • Endkontrolle (inkl. Schichtdicke, Scheinleitwert, Rauheit, Durchschlagsfestigkeit)
  • Reinigung / Verpackung im Reinraum

Die von CE-MAT angebotene Anodisierung nach Halbleiterstandard ist international etabliert und von zahlreichen Halbleiterproduzenten sowie von OEMs qualifiziert. Bei den meisten Bauteilen ist mehrfacher Rework möglich, da oftmals nur eine neue Beschichtung auf die hochpreisigen Bauteile aufgebracht werden muss. Somit ergibt sich ein beträchtliches Kosteneinsparungspotential durch Rework.