Produkte

Quarzglasteile für die Halbleiter- und Solarindustrie
  • Teile aus Quarzglas für alle gängigen Ofensysteme (vertikal und horizontal)
  • Tanks und Zubehör für Nassätzprozesse
 
Ersatzteile für Single Wafer Dry Etch & CVD
  • Quarz-, Silizium- und Keramikteile für AMAT, TEL und LAM Anlagen
 
CVD SiC Dummy Wafer

 

Ceramic Sprayed Electro Static Chucks (ESC)

 

Siliziumteile für Ofenprozesse
  • Boote, Liner & Injektoren aus Silizium für CVD und Hochtemperaturanwendungen
 
Lithographie
  • Laserhead refurbishment für Zygo und HP

 

Ersatzteile für Ionenimplanter